دوره 18، شماره 49 - ( شماره 3 و 4-زیست شناسی از صفحه 401 تا 470 و شیمی و فیزیک از صفحه 471 تا 485 1384 )
جلد 18 شماره 49 صفحات 479-471 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Porous Silicon as oxygen sensor. Journal title 2006; 18 (49) :471-479
URL: http://jsci.khu.ac.ir/article-1-1170-fa.html
URL: http://jsci.khu.ac.ir/article-1-1170-fa.html
ساخت حس‌گر گازی از سیلیسیم متخلخل و بررسی حساسیت آن نسبت به گاز. عنوان نشریه. 1384; 18 (49) :471-479
چکیده: (5236 مشاهده)
در این مقاله نمونه‌های مختلفی از سیلیسیم نوع p به روش آنودی‌سازی الکتروشیمیایی در محلول اسید فلوریدریک (HF) متخلخل شد. معلوم گردید که بسته به مقدار غلظت HF چگالی جریان آنودی سازی و زمان سونش میزان متخلخل برروی سیلیسیم متفاوت بود. سپس یک اتصال اهمی آلومینیوم بر روی یک طرف سیلیسیم نوع p (طرف غیرمتخلخل) و یک اتصال از طلا بر روی طرف متخلخل آن ساخته شد. این نمونه‌ها به عنوان یک حس‌گر مورد استفاده قرار گرفت. برای مشخصهI-V نمونه‌های مختلف رسم شد. نتایج تجربی مبین آن است که مشخصهI-V کاملاً به جریان اکسیژن حساس است. به همین سبب از این خاصیت می‌توان برای ساخت حس‌گر گازی استفاده کرد.
انتشار: 1385/8/24
| بازنشر اطلاعات | |
 | این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |
