TY - JOUR T1 - بررسی خواص الکتریکی نمونه‌های ساندویچی (Cu/Si/PS/Au) جهت ساخت حس‌گر گازهای CO2,N2 وO2 TT - بررسی خواص الکتریکی نمونه‌های ساندویچی (Cu/Si/PS/Au) جهت ساخت حس‌گر گازهای CO2,N2 وO2 JF - jsci JO - jsci VL - 11 IS - 3 UR - http://jsci.khu.ac.ir/article-1-1415-fa.html Y1 - 2011 SP - 125 EP - 140 KW - belong to this parameters current KW - density= 20 mA cm2 KW - t = 1800 KW - PH = 1.869 and L = 4 cm N2 - این پژوهش به‌منظور بررسی اثر حس‌گری گاز و رفتار الکتریکی نمونه‌های ساندویچی برپایۀ سیلیکان متخلخل (PS) با ساختار Cu/Si/PS/Au انجام شده است. لایه‌های نازک PS به روش الکتروشیمیایی از زیر لایۀ سیلیکان با مقاومت ویژه  1.4-2.6 ساخته می‌شوند . پارامترهای قابل تغییر در ساخت نمونه‌ها، زمان آندی‌سازی، فاصلۀ بین آند و کاتد(L) و چگالی جریان آنودی‌سازی و غلظت محلول الکترولیت هستند که محلول الکترولیت شامل اسید‌هیدروفلوریک HF(48%) ، اتانول C2H5OH(99.9%) و آب‌مقطر با نسبت‌های مختلف x:y:z  در نظر گرفته  شده است. نمونه‌ها پس از متخلخل شدن رفتار متفاوتی از خود نشان می‌دهد که این اثر را می‌توان با اندازه‌گیری گاف انرژی از روی نمودار  توجیه کرد. هم‌چنین در این مقاله مشخصه‌های  I-V , I-Tنمونه‌ها در شرایط مختلف و در حضور گازهای  CO2,N2,O2اندازه‌گیری و مقایسه شده‌اند. بهترین شرایط از لحاظ پاسخ به اعمال گاز متعلق به  پارامترهای: چگالی جریان 20 mA/cm2،t = 1800 S ، PH = 1.869 و فاصله بین آند و کاتد L=4 cm است. M3 ER -